
产品型号:
更新时间:2026-05-07
厂商性质:代理商
访 问 量 :15
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine1700M-B

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine1700M-B是一款高性能、高可靠性的真空设备,专为满足半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等领域的严苛需求而设计。
产品特点:
一体化设计:TGkine1700M-B将电源控制器与分子泵巧妙集成于一体,不仅简化了系统结构,还降低了安装和维护的复杂度。
高效节能:该泵采用省电设计,能够在保证高抽速的同时,有效降低能耗,为企业节省运营成本。
轻巧便携:其轻巧的设计使得泵体易于搬运和安装,适应各种空间受限的工作环境。
防护等级高:产品具备IP54防护等级,能够有效抵御灰尘和水的侵入,确保在恶劣环境下的稳定运行。
多种通信接口:支持多种通信接口,便于与各种控制系统进行集成,实现远程监控和自动化操作。
国际认证:符合CE、NRTL、SEMI-S2等国际安全标准,确保产品在全球范围内的通用性和安全性。
性能参数:
排气速度:N₂(氮气)下可达1650 L/s,H₂(氢气)下为1550 L/s,能够满足大流量气体排放的需求。
极限压力:低于2×10⁻⁷ Pa,可形成超高真空环境,满足精密加工和实验的要求。
启动与停止时间:均不超过10分钟,快速响应,缩短工艺周期。
安装角度:任意角度安装,灵活适应各种设备布局。
应用领域:
TGkine1700M-B广泛应用于半导体制造设备、FPD制造设备、太阳能电池制造设备以及玻璃、镜片等光学元件的加工等领域。其性能和可靠性,为这些行业提供了高效、稳定的真空解决方案,推动了相关技术的不断进步和发展。
| 型号 ※1 | TGkine1704M-B | TGkine1705M-B | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B200/VG200 | ||
| 排气口 ※2 | KF40 | KF50 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 1650 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 1570 | ||
| H₂ (L/s) | 1550 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | >2×10⁸ | |
| H₂ | 3×10³ | ||
| 极限压力 ※5 | Pa | <2×10⁻⁷ | |
| Torr | <1.5×10⁻⁹ | ||
| 最大气体流量 ※3 ※4 | N₂ (sccm) | 4400 | 4400 |
| Ar (sccm) | 2600 | 2600 | |
| 启动时间 | min | ≦10 | ≦10 |
| 停止时间 | min | ≦10 | ≦10 |
| 允许辅助压力 ※6 | Pa | 220 | |
| Torr | 1.65 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧2000 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 65 | |
| 输入电压 | AC200-240V | AC200-240V | |
| 相数 | 单相 | ||
| 输入频率 | Hz | 50/60 | |
| 所需电源 | VA | Max. 900 | |
| 电流 | A | Max. 5.3 | |