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更新时间:2025-12-25
厂商性质:代理商
访 问 量 :7
028-68749778
产品分类
| 品牌 | AIRTECH/艾尔泰克 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
日本AIRTECH JAPAN 洁净空气烘箱

日本AIRTECH JAPAN 洁净空气烘箱
AIRTECH JAPAN 洁净空气烘箱是一种专为高洁净度环境设计的精密热处理设备,它在传统烘箱基础上集成了高效空气净化系统,确保在处理敏感材料(如半导体元件、光学器件、医药原料等)时,既能提供精准的温度控制,又能维持ISO 5级(Class 100)或更高的内部洁净度。
核心用户:半导体制造、精密电子、生物制药、光学仪器、航空航天等制造业
关键价值:热处理过程中的微粒容忍 + 工艺可重复性 + 数据完整性
应用场景:晶圆固化、光刻胶后烘、电子元件老化、试剂干燥、材料退火等
内置高效HEPA过滤器,保持箱内洁净环境。
箱内温度可在(外界温度+60)℃至200℃范围内进行调节。
采用温度调节器可实现阶梯式运行。无需一次性加热至目标温度,可设置分阶段升温程序。
| 型式 | AHO-530 |
|---|---|
| 清浄度 | ISO5(百级洁净度)*温度稳定状态下,综合效率 |
| 集尘效率 | 对0.3微米粒子达99.97%以上 |
| 集尘元件 | 主过滤器:高温HEPA过滤器 前置过滤器:不锈钢材质 |
| 庫内寸法 (mm) | 宽580×深580×高530(不含突出部分) |
| 庫内温度 | 外気温度+60℃~200℃ |
| 温度分布 | ±2℃(200℃条件下) |
| 电源 | AC200V 3相 50/60Hz |
| 设备电力 | 最大:约8,000VA |
| 重量 | 约220kg |
| 结构 | 钢板制烤漆 库内·棚板:不锈钢制(SUS436) |
| 外形寸法 (mm) | W770×D1,025×H1,597 |
| 其他 | 电源线机外2米 (电源连接部位形状需另行协商) |